作品・発表

基本情報

氏名 佐藤利文
氏名（カナ） サトウ トシフミ
氏名（英語） SATOH Toshifumi

年月日（開始）

2003/09

年月日（終了）

 

種別

学会発表（国内学会）

題名(事項)

RFマグネトロンスパッタ法により作製したCNx薄膜の基板バイアス効果

概要

 

発表場所（学会名、会場名等）

第64回応用物理学会学術講演会，2a-Y-7，

共同制作・発表者（名義）

左合玄紀、豊巻俊明、佐藤利文、丹呉浩侑、市川洋

受賞・表彰名

 

開催地（海外の場合は国名）

 

主催者

 

年度

2003

備考