Academic Theses

Basic information

Name SATOH Toshifumi

Title

極薄ゲート酸化膜poly-Si TFTの作製・評価

Summary

 

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磯邉康孝、佐藤利文、丹呉浩侑

Date of Issue

2007-03

Magazine(name)

東京工芸大学工学部紀要

Volume

Vol.29_ No.1

Page

pp.132-139

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2006

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