学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
佐藤利文
氏名（カナ）
サトウ トシフミ
氏名（英語）
SATOH Toshifumi
題名
極薄ゲート酸化膜poly-Si TFTの作製・評価
概要
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種別
学内紀要
共著者名
磯邉康孝、佐藤利文、丹呉浩侑
発行又は発表の年月
2007/03
発行所
東京工芸大学工学部紀要
巻・号
Vol.29_ No.1
掲載ページ
pp.132-139
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
2006
備考
