研究・制作課題・行政における活動等

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

年月日(開始)

2021/04/01

年月日(終了)

2024/03/31

現在の研究/制作課題(事項)

文科省科学研究費 基盤研究(C)、研究課題「高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法」

概要(活動内容…研究内容)

 

関連する研究分野

 

研究キーワード

 

年度

2021

備考