作品・発表
|
|
2019/03/12
2019/03/12
学会発表（国内学会）
高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ／マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測
第66回応用物理学会春季学術講演会（応用物理学会、東京工業大学大岡山キャンパス）
中込 雄基、平井 芳拓、西田 寛、西宮 信夫、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、大下 慶次郎、美齊津 文典
東京
応用物理学会
2018
|
