作品・発表
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2018/09/20
2018/09/20
学会発表（国内学会）
変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測
第79回応用物理学会秋季学術講演会（応用物理学会、名古屋国際会議場）
中込 雄基、西田 寛、平井 芳拓、西宮 信夫、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、大下 慶次郎、美齊津 文典
名古屋
応用物理学会
2018
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