作品・発表
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2018/03/17
2018/03/17
学会発表（国内学会）
高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の放電モード特性および放電電力特性
第65回応用物理学会春季学術講演会（応用物理学会、早稲田大学西早稲田キャンパス）
西田 寛、松田 広一、正路 智紀、市川 美治、大城 匠、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、中野 元善、大下 慶次郎、美齊津 文典
東京
応用物理学会
2017
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