作品・発表

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

年月日(開始)

2023/03/18

年月日(終了)

2023/03/18

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第70回応用物理学会春季学術講演会(上智大学)

共同制作・発表者(名義)

横山 英佐、永井 友樹、筒井 海太、西宮 信夫、實方 真臣、戸名 正英、山本 宏晃、塚本 恵三、冨宅 喜代一、大下 慶次郎、美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

東京都(ハイブリッド)

主催者

応用物理学会

年度

2022

備考