作品・発表

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

年月日(開始)

2021/09/10

年月日(終了)

2021/09/10

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第82回応用物理学会秋季学術講演会(名城大学)

共同制作・発表者(名義)

横山 英佐、小野 洋平、高山 昇大、坂本 大樹、西宮 信夫、實方 真臣、戸名 正英、平田 直之、山本 宏晃、塚本 恵三、冨宅 喜代一、大下 慶次郎、美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

名古屋市(オンライン)

主催者

応用物理学会

年度

2021

備考