作品・発表

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

年月日(開始)

2020/03/15

年月日(終了)

2020/03/15

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた変調パルス電力マグネトロンスパッタリングの成分分析法の開発

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第67回応用物理学会春季学術講演会(応用物理学会、上智大学四谷キャンパス)

共同制作・発表者(名義)

中込 雄基、平山 睦大、渡部 達也、兼行 亮輔、西宮 信夫、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、大下 慶次郎、美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

東京

主催者

応用物理学会

年度

2019

備考