作品・発表
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2019/09/20
2019/09/20
学会発表（国内学会）
変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス／パワー制御とプラズマ発光分光
第80回応用物理学会秋季学術講演会（応用物理学会、北海道大学札幌キャンパス）
中込 雄基、渡部 達也、平山 睦大、兼行 亮輔、西宮 信夫、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、大下 慶次郎、美齊津 文典
札幌
応用物理学会
2019
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