作品・発表
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2019/03/12
2019/03/12
学会発表（国内学会）
Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電とプラズマ発光特性
第66回応用物理学会春季学術講演会（応用物理学会、東京工業大学大岡山キャンパス）
西田 寛、平井 芳拓、中込 雄基、西宮 信夫、實方 真臣、 山本 宏晃、戸名 正英、塚本 恵三、大下 慶次郎、美齊津 文典
東京
応用物理学会
2018
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