学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
實方真臣
氏名(カナ)
サネカタ マサオミ
氏名(英語)
SANEKATA Masaomi
題名
Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium
概要
 
リンク_URL
https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/5.0089592
種別
学術論文
共著者名
M. Sanekata*, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu
発行又は発表の年月
2022/06
発行所
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics (AIP)
巻・号
Vol. 131, No. 24
掲載ページ
243301 (7 pages)
DOI*/ISBN*
10.1063/5.0089592
年度
2022
備考