学術論文

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

題名

高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発

概要

 

種別

学術論文

共著者名

實方真臣、塚本恵三、美齊津文典

発行又は発表の年月

2022/03

発行所

日本質量分析学会誌(Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan)

巻・号

第70巻第1号

掲載ページ

pp. 30-35

DOI*/ISBN*

DOI:10.5702/massspec.S22-06 / Online ISSN : 1880-4225, Print ISSN : 1340-8097

年度

2021

備考