学術論文

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

題名

Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering of titanium

概要

 

種別

学術論文

共著者名

Keizo Tsukamoto, Tetsuro Tamura, Hiromi Matsusaki, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Yuki Nakagomi, Hiroshi Nishida, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masaomi Sanekata*, Keijiro Ohshimo, Kiichirou Koyasu, and Fuminori Misaizu*

発行又は発表の年月

2020/03

発行所

Japanese Journal of Applied Physics

巻・号

Vol. 59

掲載ページ

SHHB05-(pp.1 -6)

DOI*/ISBN*

10.35848/1347-4065/ab71de

年度

2019

備考