学術論文
題名
概要
リンク_URL
種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
實方真臣
氏名(カナ)
サネカタ マサオミ
氏名(英語)
SANEKATA Masaomi
題名
Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering
概要
 
リンク_URL
種別
国際会議プロシーディング
共著者名
Keizo Tsukamoto、 Tetsuro Tamura、Hiromi Matsusaki、Masahide Tona、 Hiroaki Yamamoto、 Yoshihiro Hirai、 Hiroshi Nishida、Yuki Nakagomi、 Nobuo Nishimiya、 Masaomi Sanekata、 Keijiro Ohshimo、 Kiichrou Koyasu, and Fuminori Misaizu
発行又は発表の年月
2019/07/16
発行所
XXXIV ICPIG and ICRP-10
巻・号
Proceedings of The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
掲載ページ
1-2
DOI*/ISBN*
 
年度
2019
備考