研究分野

基本情報

氏名 實方真臣
氏名（カナ） サネカタ マサオミ
氏名（英語） SANEKATA Masaomi

研究分野区分

応用物理学

研究分野名称

プラズマ分光計測

研究内容のキーワード 

・マグネトロンスパッタリング
・発光分光計測
・レーザー分光
・レーザー光イオン化質量分析法