特許/公開/出願番号 特開 2018-195462 特願 2017-098534 発明の名称 有機EL素子の上部電極膜のスパッタ法による製造方法 本学発明者 工学部 名誉教授 星陽一 工学部 工学科電気電子コース 教授 内田孝幸 工学部 名誉教授 澤田豊