Study of low power deposition of ITO for top emission OLED with facing target and RF sputtering systems
概要
 
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発表場所(学会名、会場名等)
17TH INTERNATIONAL VACUUM CONGRESS (IVC-17)、13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SURFACE SCIENCE、 (ICSS-13)AND NTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOSCIENCE AND TECHNOLOGY (ICN+T 2007)
共同制作・発表者(名義)
S Dangtip、 Y Hoshi、 Y Kasahara、 Y Onai、 T Osotchan、 Y Sawada and T Uchida