作品・発表

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

年月日(開始)

2009/04

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

A study of deposition of ITO films on organic layer using facing target sputtering in Ar and Kr gases

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films fo Electronics and Optics (TOEO-6) 16p-P103、 Tokyo Fashion Town (TFT) Building、 Ariake

共同制作・発表者(名義)

Hao Lei、 Keisuke Ichikawa、 Yoichi Hoshi、 Meihan Wang、 Takayuki Uchida、 Yutaka Sawada

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

Tokyo

主催者

 

年度

2009

備考