学術論文
題名
概要
リンク_URL
種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名(カナ)
ウチダ タカユキ
氏名(英語)
UCHIDA Takayuki
題名
Improvement in luminance efficiency of organic light emitting diodes by suppression of secondary electron bombardment of substrate during sputter deposition of top electrode films
概要
有機膜上にスパッタ法で製膜する場合の有機膜への影響、特に2次電子の影響について詳細に調べた。その結果 2次電子の影響を抑制する方法を示した。
リンク_URL
http://doi.org/10.7567/JJAP.55.106501
種別
学術論文
共著者名
Daichi Hamaguchi, Shin-ichi Kobayashi, Takayuki Uchida, Yutaka Sawada, Hao Lei, Yoichi Hoshi
発行又は発表の年月
2016/10
発行所
応用物理学会
巻・号
55
掲載ページ
106501
DOI*/ISBN*
http://doi.org/10.7567/JJAP.55.106501
年度
2016
備考