学術論文
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Improvement in luminance efficiency of organic light emitting diodes by suppression of secondary electron bombardment of substrate during sputter deposition of top electrode films
有機膜上にスパッタ法で製膜する場合の有機膜への影響、特に２次電子の影響について詳細に調べた。その結果 ２次電子の影響を抑制する方法を示した。
学術論文
Daichi Hamaguchi, Shin-ichi Kobayashi, Takayuki Uchida, Yutaka Sawada, Hao Lei, Yoichi Hoshi
2016/10
応用物理学会
55
106501
http://doi.org/10.7567/JJAP.55.106501
2016
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