学術論文

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

題名

Effect of negative bias on the composition and structure of the tungsten oxide thin films deposited by magnetron sputtering

概要

 

種別

学術論文

共著者名

Meihan Wang_ Hao Lei_ Jiaxing Wen_ Haibo Long_ Yutaka Sawada_ Yoichi Hoshi_ Takayuki Uchida_ Zhaoxia Hou

発行又は発表の年月

2015/12

発行所

Applied Surface Science

巻・号

0

掲載ページ

521-525

DOI*/ISBN*

 

年度

2015

備考