学術論文
題名
概要
リンク_URL
種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名（カナ）
ウチダ タカユキ
氏名（英語）
UCHIDA Takayuki
題名
有機EL素子用低ダメージスパッタ成膜法
概要
リンク_URL
種別
研究・技術報告
共著者名
星陽一_ 雷浩_ 小林信一_ 内田孝幸
発行又は発表の年月
2009/07
発行所
Sputtering &Plasma Processes _ 2009.pp.1-10_
巻・号
No.3
掲載ページ
pp.1-10
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
2009
備考
