学術論文

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

題名

有機EL素子用低ダメージスパッタ成膜法

概要

 

種別

研究・技術報告

共著者名

星陽一_ 雷浩_ 小林信一_ 内田孝幸

発行又は発表の年月

2009/07

発行所

Sputtering &Plasma Processes _ 2009.pp.1-10_

巻・号

No.3

掲載ページ

pp.1-10

DOI*/ISBN*

 

年度

2009

備考