学術論文

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

題名

A study of deposition of ITO films on organic layer using facing target sputtering in Ar and Kr gases

概要

 

種別

国際会議プロシーディング

共著者名

Hao Lei_ Keisuke Ichikawa_ Yoichi Hoshi_ Meihan Wang_ Takayuki Uchida_ Yutaka Sawada

発行又は発表の年月

2010/03

発行所

6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films fo Electronics and Optics (TOEO-6) 16p-P103_ Tokyo Fashion Town (TFT) Building_ Ariake; Proceedings [CD-ROM version]

巻・号

0

掲載ページ

A278

DOI*/ISBN*

 

年度

2009

備考