学術論文
題名
概要
リンク_URL
種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名(カナ)
ウチダ タカユキ
氏名(英語)
UCHIDA Takayuki
題名
A study of deposition of ITO films on organic layer using facing target sputtering in Ar and Kr gases
概要
 
リンク_URL
種別
国際会議プロシーディング
共著者名
Hao Lei_ Keisuke Ichikawa_ Yoichi Hoshi_ Meihan Wang_ Takayuki Uchida_ Yutaka Sawada
発行又は発表の年月
2010/03
発行所
6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films fo Electronics and Optics (TOEO-6) 16p-P103_ Tokyo Fashion Town (TFT) Building_ Ariake; Proceedings [CD-ROM version]
巻・号
0
掲載ページ
A278
DOI*/ISBN*
 
年度
2009
備考