学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名(カナ)
ウチダ タカユキ
氏名(英語)
UCHIDA Takayuki
題名
A study of deposition of ITO films on organic layer using facing target sputtering in Ar and Kr gases
概要
 
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種別
学術論文
共著者名
Hao Lei_ Keisuke Ichikawa_ Yoichi Hoshi_ Meihan Wang_ Takayuki Uchida_ Yutaka Sawada
発行又は発表の年月
2010/03
発行所
Thin Solid Films
巻・号
11
掲載ページ
2926-2929
DOI*/ISBN*
 
年度
2009
備考