学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名(カナ)
ウチダ タカユキ
氏名(英語)
UCHIDA Takayuki
題名
Thermal crystallization kinetics and crystallite size distribution of amorphous ITO film deposited in the presence or absence of water vapor
概要
 
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種別
学術論文
共著者名
Meihan Wang_ Yutaka Sawada_ Hao Lei_ Yoshiyuki Seki_ Yoichi Hoshi_ Takayuki Uchida_ Takayuki Konya and Akira Kishi
発行又は発表の年月
2010/03
発行所
Thin Solid Films
巻・号
11
掲載ページ
2992-2995
DOI*/ISBN*
 
年度
2009
備考