学術論文

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

題名

Thermal crystallization kinetics and crystallite size distribution of amorphous ITO film deposited in the presence or absence of water vapor

概要

 

種別

学術論文

共著者名

Meihan Wang_ Yutaka Sawada_ Hao Lei_ Yoshiyuki Seki_ Yoichi Hoshi_ Takayuki Uchida_ Takayuki Konya and Akira Kishi

発行又は発表の年月

2010/03

発行所

Thin Solid Films

巻・号

11

掲載ページ

2992-2995

DOI*/ISBN*

 

年度

2009

備考