学術論文

基本情報

氏名 行谷時男
氏名（カナ） ユキヤ トキオ
氏名（英語） YUKIYA Tokio

題名

Nanometer Trench Fabricated by Atomic Force Microscopy_

概要

 

種別

学術論文

共著者名

Tokio YUKIYA_ Kouji AIZAWA and Chugo FUJIHASHI_

発行又は発表の年月

2004/04

発行所

Japanese Journal of Applied Physics_

巻・号

Vol. 43_ No. 4A_2004_

掲載ページ

pp. 1660-1665 _

DOI＊／ＩＳＢＮ＊

 

年度

2004

備考