研究・制作課題・行政における活動等
年月日（開始）
年月日（終了）
現在の研究／制作課題（事項）
概要（活動内容…研究内容）
関連する研究分野
研究キーワード
年度
備考
基本情報
氏名
小林信一
氏名（カナ）
コバヤシ シンイチ
氏名（英語）
KOBAYASHI Shin-ichi
年月日（開始）
年月日（終了）
現在の研究／制作課題（事項）
VHFプラズマCVDによるシリコン窒化膜（a-SiNx:H）の形成と保護膜への適用
概要（活動内容…研究内容）
関連する研究分野
研究キーワード
年度
2016
備考
