作品・発表
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2006/07
学会発表（海外・国際学会）
Deposition of Luminescent a-SiNx:H Films with SiH4 - N2 Gas Mixture by VHF-PECVD Using Novel Impedance Matching Method
International Conference on Optical and Optoelectronic Properties of Materials and Applications
S. Kobayashi、 N. Ohrui、 Y.C. Chao、 T. Aoki、 H. Kobayashi and T. Asakawa.
Darwin、 Australia
2006
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