学術論文
題名
概要
リンク_URL
種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
小林信一
氏名（カナ）
コバヤシ シンイチ
氏名（英語）
KOBAYASHI Shin-ichi
題名
有機EL素子作製のための低ダメージスパッタ堆積法の開発
概要
リンク_URL
種別
学術論文
共著者名
星 陽一_ 小林 信一_ 内田 孝幸_ 澤田 豊_ 雷 浩
発行又は発表の年月
2016/03
発行所
J. the Vacuum Society of Japan
巻・号
Voｌ. 59
掲載ページ
59-64
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
2015
備考
