学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
小林信一
氏名(カナ)
コバヤシ シンイチ
氏名(英語)
KOBAYASHI Shin-ichi
題名
IR Spectroscopic Study of Silicon Nitride Films Grown at a Low Substrate Temperature Using Very High Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
概要
 
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種別
学術論文
共著者名
 
発行又は発表の年月
2016/11
発行所
World Journal of Condensed Matter Physics
巻・号
Vol6, No.4
掲載ページ
287-293
DOI*/ISBN*
10.4236/wjcmp.2016.64027
年度
2016
備考