作品・発表

基本情報

氏名 曽根順治
氏名(カナ) ソネ ジュンジ
氏名(英語) SONE Junji

年月日(開始)

2017/11/01

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

対向スパッタによる圧電膜の成膜-2

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

日本機械学会第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

共同制作・発表者(名義)

曽根順治,松本康義,沓澤翔吾,安田洋司,星陽一

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

 

主催者

 

年度

2017

備考