学術論文

基本情報

氏名 曽根順治
氏名(カナ) ソネ ジュンジ
氏名(英語) SONE Junji

題名

FEM analysis of Mechanical Characteristics of Nano Tweezers with MemsOne

概要

 

種別

学術論文

共著者名

H. Miura_ J. Sone_ D. Collard_ C. Yamahata and H. Fujita

発行又は発表の年月

2008/07

発行所

電気学会論文誌E

巻・号

No.5

掲載ページ

pp252-256

DOI*/ISBN*

 

年度

2008

備考