学術論文

基本情報

氏名 曽根順治
氏名（カナ） ソネ ジュンジ
氏名（英語） SONE Junji

題名

Feasibility study of carbon material MEMS-2

概要

 

種別

国際会議プロシーディング

共著者名

Junji Sone_ Kentaro Totsu_ Hideyuki Hukushi_ Syuji Tanaka_ Masayoshi Esashi

発行又は発表の年月

2013/01

発行所

3rd International Symposium on Integrated Microsystems(ISIM2013)

巻・号

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掲載ページ

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DOI＊／ＩＳＢＮ＊

 

年度

2012

備考