学術論文

基本情報

氏名 曽根順治
氏名(カナ) ソネ ジュンジ
氏名(英語) SONE Junji

題名

Feasibility study for designing a parylene actuator for nano-positioning

概要

 

種別

学術論文

共著者名

Junji Sone_ Laurent Jalabert_ Hiroyuki Fujita

発行又は発表の年月

2013/04

発行所

電気学会論文誌E

巻・号

4

掲載ページ

124-125

DOI*/ISBN*

 

年度

2013

備考