学術論文

基本情報

氏名 平岡一幸
氏名(カナ) ヒラオカ カズユキ
氏名(英語) HIRAOKA Kazuyuki

題名

連続式プラズマ処理装置

概要

 

種別

特許出願

共著者名

平岡一幸_ 加藤良一_ 増原憲一

発行又は発表の年月

1989/04

発行所

特許出願平01-184555_ 特許公開平03-052937

巻・号

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掲載ページ

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DOI*/ISBN*

 

年度

1989

備考