学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
北村光芳
氏名（カナ）
キタムラ ミツヨシ
氏名（英語）
KITAMURA Mitsuyoshi
題名
マイクロ波グロー放電CVDによるa-Si:H薄膜の生成
概要
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種別
学内紀要
共著者名
加藤静一_青木彪_安田住之_北村光芳_宮島雅彦_芳野孝志
発行又は発表の年月
1985/01
発行所
東京工芸大学紀要
巻・号
No.1
掲載ページ
pp.78-87
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
1984
備考
