学術論文

基本情報

氏名 北村光芳
氏名(カナ) キタムラ ミツヨシ
氏名(英語) KITAMURA Mitsuyoshi

題名

マイクロ波グロー放電CVDによるa-Si:H薄膜の生成

概要

 

種別

学内紀要

共著者名

加藤静一_青木彪_安田住之_北村光芳_宮島雅彦_芳野孝志

発行又は発表の年月

1985/01

発行所

東京工芸大学紀要

巻・号

No.1

掲載ページ

pp.78-87

DOI*/ISBN*

 

年度

1984

備考