作品・発表

基本情報

氏名 西宮信夫
氏名(カナ) ニシミヤ ノブオ
氏名(英語) NISHIMIYA Nobuo

年月日(開始)

2022/03/23

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第69回応用物理学会春季学術講演会

共同制作・発表者(名義)

横山 英佐、小野 洋平、坂本 大樹、高山 昇大、西宮 信夫、實方 真臣、戸名 正英、山本 宏晃、塚本 恵三、冨宅 喜代一、大下 慶次郎、美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

東京(オンライン)

主催者

 

年度

2021

備考