作品・発表
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2019/07/16
学会発表（海外・国際学会）
Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering
石川県金沢市
Keizo Tsukamoto、 Tetsuro Tamura、Hiromi Matsusaki、Masahide Tona、 Hiroaki Yamamoto、 Yoshihiro Hirai、 Hiroshi Nishida、Yuki Nakagomi、 Nobuo Nishimiya、 Masaomi Sanekata、 Keijiro Ohshimo、 Kiichrou Koyasu, Fuminori Misaizu
2019
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