作品・発表

基本情報

氏名 西宮信夫
氏名(カナ) ニシミヤ ノブオ
氏名(英語) NISHIMIYA Nobuo

年月日(開始)

2020/03

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた変調パルス電力マグネトロンスパッタリングの成分分析法の開発

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

東京(応用物理学会)

共同制作・発表者(名義)

中込雄基,平山睦大,渡部達也,兼行亮輔,西宮信夫,實方真臣,山本宏晃,戸名正英,塚本恵三,大下慶次郎,美齊津文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

東京都千代田区

主催者

 

年度

2019

備考