学術論文

基本情報

氏名 西宮信夫
氏名(カナ) ニシミヤ ノブオ
氏名(英語) NISHIMIYA Nobuo

題名

対向ターゲットスパッタプラズマ中のAr I とTi I のレーザ分光計測

概要

 

種別

学内紀要

共著者名

安田洋司、西宮信夫、星陽一、鈴木正夫

発行又は発表の年月

2007/12

発行所

東京工芸大学工学部紀要

巻・号

30

掲載ページ

51-58

DOI*/ISBN*

 

年度

2007

備考