作品・発表
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2005/12
学会発表（海外・国際学会）
Relationship between electrical and ionic properties of sputtered CNx Film
Thirteenth International Workshop on The Physics of Semiconductor Devices
T. SATOH、 H. Tango、 G. SAGO、 S. KOHIKI、 K. GOTO and Y. ICHIKAWA、
インド
2005
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