学術論文

基本情報

氏名 佐藤利文
氏名(カナ) サトウ トシフミ
氏名(英語) SATOH Toshifumi

題名

PbTiO3スパッタ膜の微細構造

概要

 

種別

学術論文

共著者名

佐藤,和佐,羽根田,田畑,足立,市川,瀬恒

発行又は発表の年月

1995/07

発行所

表面科学

巻・号

Vol. 16

掲載ページ

pp. 410-414

DOI*/ISBN*

 

年度

1995

備考