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2019-06-13
2019-06-13
ENG
Delayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titanium
The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes:ISSP2019（ISSP、金沢工業大学扇が丘キャンパス）
Hiroshi Nishida(1)、Yoshihiro Hirai(1, 2)、Yuki Nakagomi(1)、Nobuo Nishimiya、Masaomi Sanekata、 Hiroaki Yamamoto、Masahide Tona、Keizo Tsukamoto、Keijiro Ohshimo、and Fuminori Misaizu
金沢
ISSP2019
2019
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