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Basic information

Name UCHIDA Takayuki

Start Date

2006-09

End Date

 

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Matter

アモルファスITOスパッタ膜を加熱した際のガス発生と結晶化

Summary

 

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第67回応用物理学会学術講演会、 (2006)

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王美涵、常盤聡子、西出利一、笠原嘉浩、尾内優介、有井忠、岸証、関成之、内田孝幸、大塚正男、星陽一、近藤剛史、澤田豊

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京都：立命館

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2006

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