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Basic information
Name
UCHIDA Takayuki
Start Date
2014-03
End Date
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Matter
有機EL素子作製のための低ダメージスパッタ堆積法の開発
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将来加工技術第136委員会 平成２６年度第４回研究会、 千代田区弘済会館、 2014年、 招待講演
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星、小林、内田
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日本学術振興会
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2014
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