Academic Theses
Title
Summary
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Date of Issue
Magazine(name)
Volume
Page
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Basic information
Name
UCHIDA Takayuki
Title
有機EL素子用透明電極作製のための低ダメージスパッタ成膜法の開発
Summary
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星陽一_ 雷浩_ 小林信一_ 内田孝幸
Date of Issue
2009-05
Magazine(name)
真空ジャーナル
Volume
124号
Page
pp.10-15.
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2009
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