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End Date
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Matter
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Basic information
Name
SONE Junji
Start Date
2015-10
End Date
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Matter
対向スパッタによる圧電膜の成膜
Summary
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第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
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曽根順治、 足立丈宗、 松本康義、 星陽一、 田中秀治
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朱鷺メッセ (新潟市)
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日本機械学会
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2015
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