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Basic information

Name NISHIMIYA Nobuo

Start Date

2011-03

End Date

 

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Matter

対向ターゲットスパッタプラズマ中の46-50TiⅠ原子のガス温度と密度の放電電流・ガス圧力依存性

Summary

 

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応用物理学会（神奈川工科大学）

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小野 裕輔，安田 洋司，西宮 信夫，鈴木 正夫

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神奈川工科大学

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2010

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