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Basic information

Name SATOH Toshifumi

Start Date

2002-03

End Date

 

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Matter

イオンビームスパッタリング法により作製したCNx薄膜の微細構造

Summary

 

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第49回応用物理学会関係連合講演会，29p-YL-6，

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佐藤利文、丹呉浩侑、加藤弘晃、左合玄紀、市川　洋

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2001

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