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Basic information
Name
SATOH Toshifumi
Start Date
2002-09
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Matter
イオンビームスパッタリング法により作製したCNx薄膜のId-Vd特性
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第63回応用物理学会学術講演会,27a-ZR-10,
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佐藤利文、丹呉浩侑、左合玄紀、加藤弘晃、市川 洋
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2002
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