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Basic information

Name SATOH Toshifumi

Start Date

2002-09

End Date

 

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Matter

イオンビームスパッタリング法により作製したCNx薄膜のId-Vd特性

Summary

 

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第63回応用物理学会学術講演会,27a-ZR-10,

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佐藤利文、丹呉浩侑、左合玄紀、加藤弘晃、市川 洋

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2002

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